質(zhì)量流量計(jì)主要是由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
它采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
質(zhì)量流量計(jì)為何要進(jìn)行穩(wěn)壓補(bǔ)償：
常用的流量計(jì)大多只能夠直接測量流體的體積，并不能直接測量質(zhì)量，如果只測量流體在當(dāng)前工況下的體積時(shí)，質(zhì)量流量計(jì)儀表可以直接顯示出來。但是如果要求流量計(jì)顯示為流體質(zhì)量時(shí)，需要通過計(jì)算即時(shí)采樣的流體體積參數(shù)與密度參數(shù)相乘的積而得出結(jié)果（質(zhì)量=密度X體積）而并非直接測量出流體的質(zhì)量。
質(zhì)量流量計(jì)作為流量儀表，它測量出來的數(shù)據(jù)一定要準(zhǔn)確，如果要測量流體的質(zhì)量時(shí)就涉及到一個(gè)問題：就是流體的密度是否恒定。如果流體的密度始終如一，那么只要把流體的密度參數(shù)固定在儀表上即可，但是在流體的密度是不斷變化的情況下，就要不斷地根據(jù)當(dāng)前流體的工況對(duì)流體的密度參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，這種在流量測量中，根據(jù)流體工況對(duì)流體密度參數(shù)的調(diào)整的做法就是密度補(bǔ)償。
所謂的壓力補(bǔ)償實(shí)際上就是根據(jù)流體工況中的壓力參數(shù)，來調(diào)整流體密度的數(shù)值。如果在測量中只根據(jù)流體工況中溫度或壓力兩個(gè)參數(shù)之中的某一個(gè)參數(shù)來調(diào)整密度參數(shù)的做法叫溫度補(bǔ)償或壓力補(bǔ)償，但是如果同時(shí)根據(jù)溫度和壓力的參數(shù)來調(diào)整密度的參數(shù)做法叫做溫度壓力補(bǔ)償。
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